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半导体压力传感器的重要特点与参数

时间:2022-01-12 点击次数:

伴随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也进入了历史阶段。其特点是体积小、重量轻、精度高、温度特性好。特别是随着传感器技术的发展,半导体传感器发展为微型,功耗低,可靠性高。

微压传感器体积小、超薄、防水、防油,广泛应用于空气动力学、生物医学、化学爆炸或核爆炸冲击波等研究领域。

◇量程范围广;

◇固有频率高;

◇体积小,动态响应频率高;

微压力传感器最小直径2.54毫米,长度3.77毫米。

◇FS精度高,最高可达0.1%;

◇温度范围宽,从低温-40℃到高温+120℃(特别是+175℃)。

长久稳定,能承受各种恶劣环境。

量程:0~1~150(MPa)

综合精度:0.2%FS.0.5%FS.1.0%FS。

输出信号:1.0mv/v.1.5mv/v.2.0mv/v.3mv/v(四线制)

电源电压:10DCV(6~12DCV)

介质温度:-20~85℃。

常温(-20~85℃)

负载电阻:

输出类型:最大800ω;

电压输出类型:50kω以上。

绝缘电阻:2000mω以上(100VDC)。

密封等级:IP65。

长期稳定性:0.1%FS/年。

当振动影响00Hz机械振动频率时,输出变化小于0.1%FS。

电接口(信号接口):四色输出。

机器连接(螺纹接口):1/2-20UNF.M14×1.5.M20×1.5.M22×1.5等。

工作原理。

1.压阻压力传感器。

电阻应变片是压阻应变传感器的主要组成部分之一。应变阻器的工作原理是吸附在基座上的应变电阻随机械变形而变化,通常称为电阻应变效应。

2.陶瓷压力传感器。

陶瓷压力传感器基于压阻效应,直接作用于陶瓷膜的前表面,使膜轻微变形。陶瓷膜背面印有厚膜电阻,连接成惠斯通电桥。由于压敏电阻的压阻效应,电桥产生与压力成正比的高线性电压信号。标准信号标定为2.0/3.0/3.3mv/V。

3.扩散硅压力传感器:

扩散硅压力传感器的工作原理也是基于压力阻力效应。利用压力阻力效应原理,测量介质的压力直接作用于传感器膜(不锈钢或陶瓷),产生与介质压力成正比的微位移,改变传感器的电阻值,利用电子线检测变化,转换输出相应压力的标准测量信号。

4.蓝宝石压力传感器:

硅蓝宝石作为半导体敏感元件,利用应变电阻原理,具有无可比拟的测量性能。这样,由硅蓝宝石制成的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温条件下也能工作;蓝宝石抗辐射性能好;硅蓝宝石半导体敏感元件没有p-n漂移。

5.压力传感器:

压电式传感器的基本原理是压电效应。由于压电传感器在无限制的输入阻抗情况下,因此无法将压电传感器用于静态测量。事实并非如此,这决定了压电传感器只能测量动态应力。

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