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微型传感器是目前成功且实用的微型机电器件

时间:2023-07-19 点击次数:

微型传感器是目前成功且实用的微型机电器件,主要包括微型压力传感器和微型加速度传感器,它们利用微膜的机械变形产生电信号输出;此外,还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等。这些微型传感器的面积大多小于1mm2。

伴随着微电子加工技术,特别是纳米加工技术的进一步发展,传感器技术也将从微传感器发展到纳米传感器。这些微型传感器体积小,可以实现许多新功能,便于大规模高精度生产,单件成本低,容易形成大规模多功能阵列。这些特点使得它们非常适合汽车应用。

汽车传感器是各种用于汽车显示和电子控制系统的传感器的总称。它涉及许多物理量传感器和化学量传感器。这些传感器要么是为了让驾驶员了解汽车的各个部分的状态,要么是为了控制汽车各个部分的状态。

根据汽车的功能,它可以分为控制发动机、控制底盘和为驾驶员提供各种信息传感器。这些传感器的材料包括精细陶瓷、半导体材料、光纤和聚合物薄膜;根据输出特点,有模拟传感器和数字传感器;根据组成原理,有结构型、韧性型和复合型。为了方便起见,现在根据汽车传感器的控制对象进行分类。

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