适用于工厂等室内NO2含量检测的传感器

近几年，化工行业生产过程中有毒气体监测问题越来越受到工厂的重视。二氧化氮气是一种重要的工业气体，可以用来进行工业水处理作为杀菌消毒剂，也可以用来制浆和制纤维，精制面粉，油脂，糖分，皮革等。二氧化氮是一种有毒气体，颜色呈红褐色，顺磁性，有刺激性气味，在水中容易溶解。二氧化氮(4ppm)浓度低会使鼻子瘫痪，并可能导致过量吸收，长期暴露在NO2浓度为40至100毫克/立方米的环境中会对健康产生严重影响。所以，为了避免二氧化氮气体危害职工健康，影响生产安全，必须对工厂二氧化氮气体进行实时安全监控。

目前适用于工厂等室内NO2含量检测的比较通用的方法是采用气体传感器进行监测，使用具有体积小、成本低廉等特点的二氧化氮传感器对环境中的二氧化氮浓度进行简单快速的监测，而二氧化氮的核心元件采用铟镓锌氧化物支撑的半导体薄膜晶体管，成功地实现了监测仪器的自动化和微型化。

氮气的核心感测元件为铟锌氧化物半导体薄膜晶体管。该材料薄膜的表面电子含量丰富，NO2分子很容易吸附在薄膜表面电子。随着吸附的分子增加，薄膜表面的电子消耗也增加，因此改变其电信号地输出并触发NO2监控警报。

当检测元件完成监测任务后，通过使用集成LED灯发出的光释放被吸附的NO2分子，可以恢复IGZO电子层，从而再次激活传感器使用。试验证明，该传感器对NO2的检测极限可以降低到100ppb(十亿分之一)量级。

此外，二氧化氮气敏传感器的优点是它把气敏传感器所需的敏感元件和信号处理元件集成到一个微系统中，输出的信号随NO2浓度的变化而变化，从而形成一个独立完整的传感器部件。

NO2在室温下被检测，并通过可见光激活恢复器件的感测功能，这使得NO2气体传感器得以在城市和汽车上大规模部署，为低成本、高效率、高灵敏度的气体检测系统铺平了道路。因此，低成本的有害气体传感器的应用对于控制空气质量具有积极意义。

为了保证工厂生产安全，除合理监控外，还应采取以下预防措施：加强密闭、通风，严格安全操作规程，加强宣传教育，普及急救和预防知识，做好岗前健康监护和定期体检。如能在生产过程中，定期进行设备维护和检查监控，或许能及早发现，将危害降到最低限度。

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