微型传感器的技术参数与应用分析

微传感器是目前较为成功、也是较为实用的微机电器件，主要包括微压力传感器和利用微膜片的机械变形产生电信号输出的微传感器；另外还有微型传感器，这些微型传感器的面积大多小于1mm2。

随着微电子加工技术特别是纳米加工技术的进一步发展，传感器技术将从微传感器向纳米传感器发展。这些微传感器体积小，可以实现许多新功能，便于大规模生产和高精度生产，单片成本低，易于形成大规模多功能阵列，非常适合汽车应用。

汽车传感器是汽车显示和电子控制系统中使用的各种传感器的总称。它涉及许多物理和化学传感器。这些传感器要么让司机知道汽车各个部分的状态；或者用来控制汽车各部分的状态。

汽车温度传感器主要用于检测发动机温度、吸气温度、冷却水温度、燃油温度和催化温度。温度传感器主要有三种类型:热敏电阻型、线绕电阻型和热电偶电阻型。这三种类型的传感器各有特点，应用也略有不同。热敏电阻温度传感器灵敏度高，响应特性好，但线性度差，对温度的适应性低。

其中，一般温度测量范围为-50℃~30℃，精度为1.5%，响应时间为10ms；高温型600℃~1000℃，精度5%，响应时间10ms；线绕电阻温度传感器精度高，但响应特性差；热电偶电阻温度传感器精度高，测量温度范围宽，但需要与放大器和冷端处理配合使用。其他实用产品有铁氧体温度传感器(温度范围-40℃~120℃，精度2.0%)，金属或半导体薄膜空气温度传感器(温度范围-40℃~150℃，精度2.0%，5%，响应时间20ms左右)等。

称重传感器原则上是压力传感器，但形状不同。但是，感知的方式通常有很多种，但是可以看到，使用的次数更多。比如地磅用的一般都是涡流式的。也就是说，他有一个涡流触发绕组，然后一个传感器感应涡流强度。由于整个称重传感器是用金属封装的，所以涡电流受压后变形，涡电流发生变化，放大后可以读取数据。那么，封装这个东西的材料通常是刚性材料。

总之就是普通金属，比如钢，但是不会用什么很软的东西。因为即使是钢，即使受压变形几微米，涡流的变化也足以感应到它变化了多少，如果是软金属，重的时候很容易出问题。至少带涡流传感的压力传感器不会是软金属做的。称重传感器检测电路的功能是将电阻应变片的电阻变化转化为电压输出。

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