微型机电系统一种基于微电子技术发展起来的多学科交叉前沿研究领域。经过40多年的发展，已经成为世界上最引人注目的技术领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理、化学、生物、医学等学科和技术，具有广阔的应用前景。MEMS的全名是微型电子机械系统，集微型传感器、微执行器、微型机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源于一体。它具有体积小、成本低、集成化的特点。应用MEMS传感器。
1.用于医疗。
MEMS传感器用于无创胎心检测。检测胎儿心率是一项技术性很强的工作。由于胎儿心率快，使用传统听诊器甚至只有放大功能的超声波多普勒仪器很难用人工计数准确测量。而且具有数字显示功能的超声波多普勒胎心监护仪价格昂贵，仅供少数大医院使用，在中小医院和广大农村地区无法普及。此外，超声对胎儿有很大的不利影响。虽然检测剂量很低，但也属于有损检测范畴，不适合经常重复检查和家庭使用。
2.用于汽车电子。
MEMS压力传感器主要用于测量气囊压力、燃料压力、发动机油压力、进气管道压力和轮胎压力。传感器采用单晶硅作为材料，通过MEMS技术在材料中间制成力敏膜，然后在膜上扩散杂质，形成四种应变电阻，然后通过惠斯顿电桥将应变电阻连接到电路上，以获得高灵敏度。汽车MEMS压力传感器有电容、压阻、差动变压器、声表面波动等常见形式。MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律，通常由悬挂系统和检测质量组成，通过微硅质量块的偏移检测加速度，主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统、防盗系统等。除了电容式和压阻式外，MEMS加速度计还包括压电式、隧道电流式、谐振式和热电偶式。其中，电容式MEMS加速度计灵敏度高，受温度影响小，主要用于汽车安全气囊系统、汽车导航系统、汽车导航系统、汽车导航系统、汽车导航系统、汽车导航系统、汽车导航系统、汽车导航系统等。MEMEMEMEMEMS加速度传感器加速度传感器加速度传感器主要用于汽车底盘加速度传感器。
3.应用于手机摄影领域。
手机摄像SDrive出现之前，手机摄像头主要是通过音圈电机的移动镜头组来实现抖动防止(简称镜头抖动防止技术)，受到很大限制。市场上另一种高端抖动防止技术是多轴抖动防止技术，利用移动图像传感器(ImageSensor)来补偿抖动，但由于该技术体积庞大，功耗超过手机负荷，不能应用于手机。
伴随着微电体积和功耗的突破，最新技术MEMSDrive类似于贴在图像传感器背面的平面电机，驱动图像传感器在三个旋转轴上移动。MEMSDrive的颤抖防止技术是通过陀螺仪感知拍摄过程中的瞬时颤抖，通过精密算法计算电机应该做的移动幅度，进行快速补偿。这一系列动作必须在1%以内完成，你得到的图像不会因为颤抖而模糊。
手机拍照给我们带来了随时随地的便利，但是面对复杂的环境和各种拍照场景，手动拍照是不可避免的抖动，比如走路躺着拍照，或者伸手拿着自拍棒自拍。无论什么样的颤抖，MEMSDRIVE电机独特的五轴颤抖和快速控制的技术优势，都能呈现出更清晰、更锐利的图像。
4.适用于运动跟踪系统。
在运动员的日常训练中，MEMS传感器可以用来测量3D人体运动，记录每一个动作，教练分析结果，反复比较，提高运动员的成绩。随着MEMS技术的进一步发展，MEMS传感器的价格也降低了，可以广泛应用于公共健身房。
在滑雪方面，3D运动跟踪中的压力传感器、加速度传感器、陀螺仪和全球定位系统不仅可以提供滑雪板的移动数据，还可以记录用户的位置和距离。冲浪也是如此。安装在冲浪板上的3D运动跟踪可以记录波高、速度、冲浪时间、浆板距离、水温和消耗的热量。
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