硅微压力传感器主要分为两类：电容式和压阻式。该电容式压力传感器包括作为可变空气电容器极板的薄膜，该薄膜在压力作用下会产生位移，从而改变电容值，利用该变化通过相应的电路来获得压力值。压阻传感器是利用硅材料在压力作用下产生电阻变化的原理制作而成，通常由4个硅材料的应变电阻组成惠斯通电桥来测量压力。
而且硅微压力传感器具有体积小、重量轻、不动件少、可靠性高、可大规模生产等特点，因此成本也较低。由于传感器具有可靠性高、成本低等特点，符合汽车工业的要求，所以硅微压力传感器在汽车工业中的应用十分广泛。例如自动制动系统的面压、轮胎压力、气囊压力、传动系统的液压、喷射系统的液压、喷射燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力等均有硅微型压力传感器可用。
与此同时，在医疗保健领域中，硅微型压力传感器最大的应用产品是血压监测仪。据说，一些大型医疗机械制造企业每年使用约500万个压力传感器。另外，诸如女性难产时用于监测子宫压力的硅微压力传感器、静脉注射用于监测药液流动的传感器等，市场需求也很大。在医疗保健领域，许多其它应用也在不断地开发，因此，这种传感器在医疗保健领域的发展前景也十分可观。
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