电容式传感器广泛用于角度、位移、液位等参数的精确测量。电容式传感器具有灵敏度高、精度高的优点，但这些优点都与传感器的正确设计、正确选材和精细加工技术有关。然而，还应注意以下影响电容式传感器精度的因素。
1.温度对结构尺寸的影响。
环境温度的变化会引起电容式传感器各元件的设定尺寸和相互位置的变化，这将导致电容式传感器的额外温度误差，特别是在检测间隙变化的电容式传感器中，因为其初始间隙非常小。
2.温度对介电常数的影响。
电容传感器的电容值与介质的介电常数成正比。因此，对于介电常数温度系数不为零的传感器，温度的变化必然会导致传感器电容值的变化，从而造成额外的温度误差。
3.泄漏电阻的影响。
电容式传感器的容性阻抗非常高，尤其是激励频率较低时。当两极之间的总泄漏电阻与容抗相近时，必须考虑分流作用对整个系统总灵敏度的影响，这样会降低传感器的灵敏度。
4.边缘效应和寄生参数。
边缘效应使设计和计算变得复杂，产生非线性并降低传感器的灵敏度。消除和还原的方法是在结构上加一个保护电极，必须取与备用保护电极相同的电位，并尽量使其与地电位相同。
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